根据《华中科技大学科技成果转化管理办法》规定，对我校国家精密重力测量科学中心刘骅锋老师团队的“高精度MEMS惯性传感器”成果转化相关事项公示如下：
一、成果名称及简介
成果包含5项知识产权：
（1）发明专利：一种利用SOI片制作高精度MEMS惯性传感器的方法
发明人：刘骅锋，涂良成，宋萧萧，渠自强，伍文杰
专利号：ZL201711295820.8
专利权人：华中科技大学
简介：本专利提供一种利用SOI片制作高精度MEMS惯性传感器的工艺方法，解决MEMS惯性传感器精度不高的问题，利用SOI片支撑层的限位作用既可实现面外方向运动的保护，又可大大简化封装工艺；本专利通过对弹簧质量块系统的细节结构设计，可有效控制它们的本征频率，降低机械热噪声，以及实现更低的交叉轴灵敏度。
（2）发明专利：一种重力加速度传感器
发明人：刘骅锋，涂良成，徐小超，饶康，刘金全
专利号：ZL201711296995.0
专利权人：华中科技大学
简介：本专利公开一种重力加速度传感器，解决传统重力加速度传感器制造成本高且制造周期长的问题，以及解决现有MEMS重力加速度传感器分辨率较低且无法实现三分量重力测量的技术问题。避免了常规的梳齿电极式电容位移传感器只有一个初始工作点，在Z轴方向重力的作用下出现偏移量之后其工作的输出值不同，需重新单独设计的问题。
（3）发明专利：一种微重力加速度测量装置
发明人：张少林，刘骅锋，涂良成，王秋，许强伟，严世涛
专利号：ZL202010209274.7
专利权人：华中科技大学
简介：本专利公开了一种微力加速度测量装置，通过合理的机械结构设计与舱内布局，具有体积小、空间利用率高、便于传感器调试和隔热及利于电路散热等优点。
（4）发明专利：一种基于抗磁体悬浮的MEMS惯性传感器
发明人：王秋，刘骅锋，胡宸源，涂良成
专利号：ZL201910542840.3
专利权人：华中科技大学
简介：本专利公开了一种基于抗磁体悬浮的MEMS惯性传感器，解决现有重力加速度传感器，需要外界提供能量，弹簧和质量块直接接触产生摩擦，摩擦力影响传感器的性能，能量耗散，其分辨率受限于系统的噪声水平，以及现有MEMS重力加速度传感器无法发挥MEMS工艺优势的技术问题。
（5）发明专利：一种三分量重力仪探头及井中重力仪系统
发明人：刘骅锋，涂良成，王秋，胡宸源，范继
专利号：ZL201711296974.9
专利权人：华中科技大学
简介：本专利提供一种三分量重力仪探头，通过三个方向的重力测量模块，实现X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向的重力测量，能够实现井中的三分量重力测量。体积和质量都得到有效地减小，制作成本也能得到有效地降低。
二、拟交易价格
作价投资：300.06万元。
三、价格形成过程
学校委托评估公司对该项目进行资产评估，基于评估价参考，经全体发明人同意，并与楷轩科技（海南）合伙企业（有限合伙）协商，双方同意该成果以300.06万元进行作价投资。
特此公示，公示期15日，自2025年7月22日起至2025年8月5日。如有异议，请于公示期内以书面形式实名向我院反映。
联系人：尹老师、徐老师
联系电话：87558732
科学技术发展院
2025年7月22日
